平面光学元件的表面面型测量
平面光学元件平行度测量
适合车间加工过程中的检测
可进行整盘检测
平面光学元件的表面面型测量
平面光学元件平行度测量
测量方式：菲索干涉原理
通光口径：Φ150mm
测试波长：632.8nm(He-Ne激光器)
对准方式：简单两点对准
对准视场：±0.5度
平面标准镜精度：PV：λ/20
尺寸：450×400×800mm
重量：约80Kg
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