平面光学元件的表面面型测量 平面光学元件平行度测量
适合车间加工过程中的检测
可进行整盘检测
平面光学元件的表面面型测量
平面光学元件平行度测量
测量方式:菲索干涉原理
通光口径:Φ150mm
测试波长:632.8nm(He-Ne激光器)
对准方式:简单两点对准
对准视场:±0.5度
平面标准镜精度:PV:λ/20
尺寸:450×400×800mm
重量:约80Kg