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平面Zombie Club
球面Zombie Club
软件分析系统
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Zombie 余文乐-LP-WM激光平面Zombie Club

产品型号:Zombie 余文乐-LP-WM

双端口检测
大口径平面元件面型检测
光学材料均匀性测量
元件面型分析,光学数据处理

  • 特点:
  • 用途:
  • 技术参数:

成像质量良好,结构简洁

卧式结构,双端口测量

操作方便,使用简单

波长调谐式条纹分析系统


双端口检测

大口径平面元件面型检测

光学材料均匀性测量

元件面型分析,光学数据处理


序号

指标名称

指标水平

1

测试方式

双端口卧式结构

2

有效测试口径

大端口:Φ600mm;小端口:Φ120mm

3

相移方式与测试波长

波长调谐光源,中心波长632.8nm,相干长度≥100m

4

调焦

光瞳调焦范围大于±3.5m

5

变焦

1X光学变焦+50X数字变焦

6

探测器

分辨率:1.6k×1.6k Pixel60fps

7

仪器传递函数(ITF

0.70 @ 0.6 cycles/mm

8

φ600mm标准楔形镜(TF镜)

PV优于λ/15,RMS优于λ/80PSD1小于0.70nm

9

φ600mm标准反射镜(RF镜)

PV优于λ/15,RMS优于λ/80PSD1小于0.70nm

10

系统空腔精度

PV优于λ/14,RMS优于λ/80PSD1小于0.70nm

11

系统重复性精度

RMS重复性精度:<λ/30002σ)

12

系统稳定性

24小时测试,系统空腔精度与重复性均达到第10,11项精度指标

13

系统可靠性

平均无故障工作时间大于1000小时,连续无故障工作时间大于48小时

14

分析系统

QPS快速抗振波长调谐随机相移分析系统

15

平行平板分析

多波长扫描平行平板分析功能,厚度范围1mm-5m

16

材料光学均匀性分析

四步法材料均匀性绝对测量分析

17

测试对准方式与角度

快速对准角度>±15°,测试操作时间小于2min

18

测试工装

两维角度调节,一维平移调节,气浮大范围调节